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      應變式合金濺射膜壓力傳感器的國內外發展狀況

      發布時間:2017-10-9??????發布人:澤天科技??????點擊:

      1、國外發展狀況

      國外四十年代發明了粘貼應變式壓力傳感器,隨后幾十年,各國都致力于該產品的粘貼劑和補償技術等方面的研究,使產品技術得到很大發展。70年代前后基本上取代了機械式的傳感器,但是粘貼式傳感器中粘貼膠的弊端無法消除,產品性能受到限制。

      60年代,荷蘭、法國等先后提出了薄膜壓力傳感器的開發設想,即利用薄膜技術將應變電阻直接制作在彈性材料上,代替粘貼工藝。但當時受到設備和工藝的限制,該技術的發展較慢。同時期電容式傳感器和擴散硅傳感器得到迅速發展,產品在工業過程控制、汽車、衡器等領域得到大量應用。下圖為濺射膜壓力傳感器的芯體實物圖。

      濺射膜壓力傳感器

      由于電容式傳感器體積笨重,抗振動、沖擊等惡劣環境能力差,而擴散硅傳感器存在溫度漂移大的致命弱點,使各發達國家自70年代以后又加大了對薄膜傳感器的研究投入。荷蘭Could公司首先報道了研究結果:傳感器連續工作8年,零點漂移小于千分之一。70年代中期,美國、法國報道了利用陰極蒸發等工藝制造濺射膜壓力傳感器的技術成果。80年代之后,德國、俄羅斯等國也相繼報道了利用磁控濺射等方法制造的產品成果,薄膜傳感器的優良性能得到世界傳感器行家的公認。目前,濺射膜壓力傳感器在國外主要用于軍事(如美國用于阿波羅飛船、俄羅斯用于聯盟號飛船和暴風雪——能源號航天飛機、法國用于阿迪亞娜運載火箭)、核工業、油井等惡劣環境,正推廣應用于工控、船舶、機械等其它領域。

      2、國內發展狀況

      我國自50年代就開始了粘貼應變式傳感器的研究,直到70年代,國內傳感器商品仍然以粘貼式和早期機械式傳感器為主。進入80年代我國才開始引進生產線生產電容式傳感器,并大量用于工控領域。同時期,原電子部等單位自行開發的擴散硅傳感器也形成小批量生產能力,但技術水平與國外同類產品相比有一定差距。 國內濺射膜壓力傳感器的研究工作也始于80年代初期,如陜西秦嶺晶體管廠、常州計量局等單位早有實驗結果的文獻報道,但基本上停留在實驗和試制階段。原電子部利用自行研制的離子束濺射設備和自身的薄膜技術優勢,采用與目前國內外不同的薄膜傳感器制造方法,于1989年開始立項研究,1994年正式推出了商品化的應變式合金濺射膜壓力傳感器,目前已有3000余只成功用于航天、油井、電力、石化、冶金等領域。其產品技術指標達到國際先進水平,綜合經濟技術指標優于國外產品水平。本文源自澤天傳感,轉載請保留出處。

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